| Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов |
| 07.04.2010 | |
 Название: Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессовПод редакцией Миллера Д. Издательство: Радио и связь Год: 1989 Страниц: 280 Формат: DjVu Размер: 5.66 Mb ISBN: 5-256-00228-7 Качество: отличное Язык: русский В книгепредставлены доклады известных специалистов из разных стран на IV Международной конференции по моделированию полупроводниковых приборов и интегральных схем, проходившей в июне 1985 г. в г. Дублине. Рассматриваются вопросы моделирования электрофизических характеристик приборов и технологических процессов, применяемых при их изготовлении. Большое внимание уделено используемым численным методам и описанию пакетов прикладных программ. Широко представлены результаты двумерного моделирования различных полупроводниковых приборов, а также процессов диффузии и окисления. Наряду с традиционной диффузионно-дрейфовой моделью в ряде работ для анализа характеристик приборов используются гидродинамическая модель и метод частиц. Основное внимание уделяется кремниевым приборам, но в ряде работ рассматриваются свойства, характерные для приборов на основе соединений А3В5. Кратко затрагиваются вопросы схемотехнического анализа, моделирования литографии, травления, осаждения, ионной имплантации, воздействия светового и ионизирующего излучений. Скачать Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов, с: DepositFiles.com Turbobit.net |
