| Физические основы микроэлектроники |
| 27.09.2009 | |
 Название: Физические основы микроэлектроникиАвтор: Марголин В. И. Издательство: Академия Год: 2008 Страниц: 400 Формат: DjVu Размер: 3.97 Mb ISBN: 978-5-7695-4227-5 Качество: отличное Серия или Выпуск: Высшее профессиональное образование Язык: русский Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений. Печатную книгу: Твердый переплет, 400 стр. ISBN 978-5-7695-4227-5 Тираж: 2500 экз. Формат: 60x90/16 можно приобрести в книжных интернет-магазинах: Цена: 558 руб.Цена: 649 руб. Скачать Физические основы микроэлектроники, с: DepositFiles.com Getthebit.com Uploading.com |
